Артикул: 1105314
Раздел:Технические дисциплины (68565 шт.) >
Электроника (в т.ч. микроэлектроника и схемотехника) (1622 шт.) >
Физические основы электроники (ФОЭ) (398 шт.) Название или условие:Лабораторная работа № 8
РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА КРЕМНИИ ПРИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМ ОКИСЛЕНИИ
Описание:ЦЕЛЬ РАБОТЫ: ознакомиться с теоретическими основами роста окисных пленок на кремнии и методами расчета некоторых технологических параметров.
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
Этапы роста окисной пленки
Модель термического окисления кремния
Влияние ориентации на скорость окисления
Методы окисления и оборудование
ХОД РАБОТЫ:
1. Исходные данные для расчета: температура окисления кремниевой пластины Т = 800+15(N-1)°C.
2. Используя данные таблиц, построить температурные зависимости констант скорости окисления кремния в сухом и влажном кислороде.
3. Для заданной температуры , используя построенные в п.2 графики, найти соответствующие значения констант скорости окисления кремния в сухом и влажном кислороде.
Примечание: значения констант скорости представлены в следующем пункте перед соответствующими графиками зависимостей.
4. Построить графики зависимостей толщины окислов от времени окисления в условиях влажного, сухого кислорода, а также, в зависимости от кристаллографической ориентации поверхности кремния. Время окисления 150 мин; число точек - не менее 10.
Вывод
Всего: 15 страниц
Изображение предварительного просмотра:
Процесс покупки очень прост и состоит всего из пары действий:
1. После нажатия кнопки «Купить» вы перейдете на сайт платежной системы, где можете выбрать наиболее удобный для вас способ оплаты (банковские карты, электронные деньги, с баланса мобильного телефона, через банкоматы, терминалы, в салонах сотовой связи и множество других способов)
2. После успешной оплаты нажмите ссылку «Вернуться в магазин» и вы снова окажетесь на странице описания задачи, где вместо зеленой кнопки «Купить» будет синяя кнопка «Скачать»
3. Если вы оплатили, но по каким-то причинам не смогли скачать заказ (например, случайно закрылось окно), то просто сообщите нам на почту или в чате артикул задачи, способ и время оплаты и мы отправим вам файл.
Условия доставки:
Получение файла осуществляется самостоятельно по ссылке, которая генерируется после оплаты. В случае технических сбоев или ошибок мозно обратиться к
администраторам в чате или на электронную почту и файл будет вам отправлен.
Условия отказа от заказа:
Отказаться возможно в случае несоответсвия поулченного файла его описанию на странице заказа.
Возврат денежных средств осуществляется администраторами сайта по заявке в чате или на электронной почте в течении суток.