Артикул: 1105311
Раздел:Технические дисциплины (68565 шт.) >
Электроника (в т.ч. микроэлектроника и схемотехника) (1622 шт.) >
Физические основы электроники (ФОЭ) (398 шт.) Название или условие:Лабораторная работа №2
ВЛИЯНИЕ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ТЕРМОВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛЕНКИ ПО ТОЛЩИНЕ
Описание:Цель работы: изучить влияние геометрии испарения на распределение пленки по толщине для различных типов испарителей и материалов.
Теоретическая часть
ХОД РАБОТЫ
Исходные данные
1. Для химического элемента определить скорость испарения V
u для заданных значений Р и Т
u.
2. Исследование распределений толщины пленки, создаваемых точечным и с малой поверхностью испарителями.
2.1. Построить график распределения плёнки по толщине d/d
0 для различных значений l/h
2.2. Найти расстояние испаритель - подложка h, которое обеспечивает неравномерность распределения толщины пленки d/d
0 = 0,9, размеры подложки 30 х 48 мм
3. Исследовать влияние расстояния испаритель-подложка h на распределение толщины пленки, создаваемого тонким кольцевым испарителем при следующих условиях: радиус кольца испарителя s = 50 мм; диапазон изменения h/s [0.5; 1.6]; диапазон изменения l\h [0; 4].
4. Исследовать влияние расстояния испаритель-подложка h на распределение толщины пленки, создаваемого дисковым испарителем при следующих условиях: радиус диска испарителя s = 50 мм; диапазон изменения h/s [0.5; 1.6]; диапазон изменения l\h [0; 4].
5. Для точечного, малой поверхностью, тонкого кольцевого и дискового испарителей найти массу навески М
е и время напыления t для получения толщины пленки d = 1 мкм в центре подложки размерами 30 х 48 мм. Массу навески (количество испаренного материала) М
е определить по соответствующим формулам, а время t из выражения M
e = V
uAt, где A = 1 см
2. Расстояние испаритель – подложка составляет 100 мм.
ВЫВОД
Всего: 15 страниц
Изображение предварительного просмотра:
Процесс покупки очень прост и состоит всего из пары действий:
1. После нажатия кнопки «Купить» вы перейдете на сайт платежной системы, где можете выбрать наиболее удобный для вас способ оплаты (банковские карты, электронные деньги, с баланса мобильного телефона, через банкоматы, терминалы, в салонах сотовой связи и множество других способов)
2. После успешной оплаты нажмите ссылку «Вернуться в магазин» и вы снова окажетесь на странице описания задачи, где вместо зеленой кнопки «Купить» будет синяя кнопка «Скачать»
3. Если вы оплатили, но по каким-то причинам не смогли скачать заказ (например, случайно закрылось окно), то просто сообщите нам на почту или в чате артикул задачи, способ и время оплаты и мы отправим вам файл.
Условия доставки:
Получение файла осуществляется самостоятельно по ссылке, которая генерируется после оплаты. В случае технических сбоев или ошибок мозно обратиться к
администраторам в чате или на электронную почту и файл будет вам отправлен.
Условия отказа от заказа:
Отказаться возможно в случае несоответсвия поулченного файла его описанию на странице заказа.
Возврат денежных средств осуществляется администраторами сайта по заявке в чате или на электронной почте в течении суток.