Артикул: 1105305
Раздел:Технические дисциплины (68556 шт.) >Электроника (в т.ч. микроэлектроника и схемотехника) (1614 шт.) >
Физические основы электроники (ФОЭ) (391 шт.)
Название или условие:
Курсовая работа на тему: "Расчёт параметров процесса ионно-плазменной обработки материалов"
Описание:
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ...............................................................................................................4
1. ТЕХНИКА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ.......................................................................................................5
1.1. Техника получения вакуума................................................................................5
1.2. Техника измерения низких давлений.................................................................6
1.3. Конструктивные особенности установки катодного распыления...................8
1.4. Расчёт времени откачки предварительного вакуума........................................9
1.5. Последовательность процесса катодного распыления...................................11
2. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА.................................................................................................................12
2.1. Типичные разряды в постоянном электрическом поле..................................12
2.2. Условия существования разряда в газах..........................................................17
2.3. Вольт-амперная характеристика разряда между электродами......................17
2.4. Расчёт вольт-амперной характеристики разряда при катодном распылении......19
3. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ...................................................................24
3.1. Физические модели катодного распыления.....................................................24
3.2. Коэффициент распыления и факторы, влияющие на его величину............25
3.3. Расчёт коэффициента распыления....................................................................26
3.4. Перенос распылённого материала от мишени
к поверхности конденсации................................................................................30
3.5. Расчёт скорости осаждения...............................................................................30
3.6. Влияние параметров осаждения на свойства плёнок......................................31
4. ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ КАТОДНОМ РАСПЫЛЕНИИ.....................................................................................................32
4.1. Расчёт температурного режима катода-мишени..............................................32
ЗАКЛЮЧЕНИЕ......................................................................................................35
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК........................................36
ПРИЛОЖЕНИЕ 1......................................................................................37
ПРИЛОЖЕНИЕ 2.....................................................................................38
ПРИЛОЖЕНИЕ 3.....................................................................................39
ПРИЛОЖЕНИЕ 4.....................................................................................40
ПРИЛОЖЕНИЕ 5.....................................................................................41
ПРИЛОЖЕНИЕ 6......................................................................................42
ПРИЛОЖЕНИЕ 7......................................................................................43
Изображение предварительного просмотра:
Процесс покупки очень прост и состоит всего из пары действий:
1. После нажатия кнопки «Купить» вы перейдете на сайт платежной системы, где можете выбрать наиболее удобный для вас способ оплаты (банковские карты, электронные деньги, с баланса мобильного телефона, через банкоматы, терминалы, в салонах сотовой связи и множество других способов)
2. После успешной оплаты нажмите ссылку «Вернуться в магазин» и вы снова окажетесь на странице описания задачи, где вместо зеленой кнопки «Купить» будет синяя кнопка «Скачать»
3. Если вы оплатили, но по каким-то причинам не смогли скачать заказ (например, случайно закрылось окно), то просто сообщите нам на почту или в чате артикул задачи, способ и время оплаты и мы отправим вам файл. Условия доставки: Получение файла осуществляется самостоятельно по ссылке, которая генерируется после оплаты. В случае технических сбоев или ошибок мозно обратиться к администраторам в чате или на электронную почту и файл будет вам отправлен. Условия отказа от заказа: Отказаться возможно в случае несоответсвия поулченного файла его описанию на странице заказа. Возврат денежных средств осуществляется администраторами сайта по заявке в чате или на электронной почте в течении суток.
Похожие задания:
